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Clean room클린 룸은 공기 중의 부유 미립자를 규정 된 청정도 이하로 관리하고, 공간에 공급되는 자재, 약품, 물, 온도 / 습도 / 압력 등의 환경 조건에 대해 요구되는 청정도를 유지하는 클린 룸입니다.
CDA generator콤팩트 한 본체로 데스크탑에 설치할 수있는 컴프레서가 내장 된 가스 발생기입니다. 질소, 산소, 청정 건조 공기 (CDA) 3 종 라인업으로 간편하게 고품질 가스 공급이 가능합니다.
DIW generator고급 반도체 세정, 이제 화학 세정을 친환경 이온수 세정으로 대체합니다. 다량의 약품을 사용하는 RCA 세척 방법은 증가하는 환경 규제에 대처할 수 없습니다.
Reclamation | Separation | Clean/Dry for re-use | Discard | Assembly | Packaging | Shipping |